磁控溅射氩气对电流影响氩气量是如何影响电流的,请从微观方面介绍一下!

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/26 17:54:52
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磁控溅射氩气对电流影响
氩气量是如何影响电流的,请从微观方面介绍一下!

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粗略的理
氩气量越多,真空度越低,真空室内的等离子体密度就越大,当然电子也就越多,所以电流也就越大.

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