磁控溅射镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用?
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/12/18 20:58:54
磁控溅射镀膜中氧气氩气氮气分别起什么主要作用?磁控溅射镀膜中氧气氩气氮气分别起什么主要作用?磁控溅射镀膜中氧气氩气氮气分别起什么主要作用?电镀是电化学反应,在电镀池中装有电解质溶液, 此电解质溶液含
磁控溅射镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用?
磁控溅射镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用?
磁控溅射镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用?
电镀是电化学反应,在电镀池中装有电解质溶液,
此电解质溶液含有镀层金属的离子,通电后,由于待镀件接的电源的负极,因此待
镀件 表面聚集大量的带正电荷的镀层金属离子即待镀件被带正 电荷的离子包围并
在此得到电子,成为原子沉积下来,镀层金属原子失去电子变为离子进入电解质溶
液中,此电子转移的过程,也就是氧化－还原反应.
所以氧气是保证更好的进行这个反应,而氮气氩气是保护为主.
问题补充：谁知道磁控溅射镀膜时通氩气和氧气的作用是什么啊？还有就是对电阻氩气的作用：被撞击后产生Ar离子，在负高压的作用你通入氩气是为了能够
1.镀金属膜时，一般用氩气作为工作气体，它是惰性气体，在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。2.氧气一般用于镀非金属膜，如TiO2，不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。3.氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体，让真空室内压强和大气压强保持相等，才能开盖换靶镀另一层膜。
可能解释还不是很清楚，如有疑问，可以继续提问...
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1.镀金属膜时，一般用氩气作为工作气体，它是惰性气体，在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。2.氧气一般用于镀非金属膜，如TiO2，不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。3.氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体，让真空室内压强和大气压强保持相等，才能开盖换靶镀另一层膜。
可能解释还不是很清楚，如有疑问，可以继续提问
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氩气是工作气体，它属于惰性气体不与其它气体产生反应，氧气和氮气是反应气体，
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