什么药水跟铜反应跟氧化铟锡也就是ITO,不反应的

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/24 20:17:55
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什么药水跟铜反应跟氧化铟锡也就是ITO,不反应的
ITO刻蚀主要有下面两种:
HCl系列:可以加硝酸、FeCl3等强氧化剂,貌似还有加锌粉的;草酸系列:也可以加FeCl3等氧化剂,具体要腐蚀铜而保留ITO,还没这么干过...难道你是想把ITO铜背靶腐蚀掉?