场发射扫描电镜与普通的扫面电镜有什么区别?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/22 15:34:43
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场发射扫描电镜与普通的扫面电镜有什么区别?

场发射扫描电镜与普通的扫面电镜有什么区别?
sem 有冷场发射的和热场发射的,还有环扫.场发射的分辨率较高,达到1nm
环扫达3¬4nm,样品室比较大,景深大,可做断口和有污染的样品,电子束流达,可信度高.
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