冷热场发射扫描电镜的区别是什么?
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/22 09:36:58
冷热场发射扫描电镜的区别是什么?
冷热场发射扫描电镜的区别是什么?
冷热场发射扫描电镜的区别是什么?
场发射分热场和冷场,共性是分辨率高.热场的束流大些,适合进行分析,但维护成本相对较高,维护要求高.冷场做表面形貌观测是适合的,相对而言维护成本低些,维护要求不算高.
冷场发射电子枪
优点：单色性好,分辨率高
缺点：电子枪束流不稳定,束流小,不适合做能谱分析,每天要做一次Flash
热场发射电子枪
优点：电子束稳定,束流大
缺点：与冷场相比除了单色性和分辨率略差点外,其它找不出缺点.
热场在总发射电流（Total emission current）、最大探针电流（Maximum probe current）、电子束噪声（Beam noise）、发射电流漂移（Emission current drift）、工作真空（Operating vacuum）、阴极还原（Cathode regeneration）、对外部影响的敏感性（Sensitivity to external influence）等方面都具有一等的优势.这些参数直接影响电镜的性能.在阴极半径（Cathode radius）、有效电子源半径（Effective source radius）、发射电流密度（Emission current density）、标准亮度（Normalised brightness）等方面,冷场发射略胜一筹.这几个参数总起来说就是冷场发射阴极的发射面积较小、能量集中,便于将电子束聚焦于一个很小的点,以提高分辨率.但是在现代的电镜技术条件下,热场发射电镜通过采取各种有效措施,也能够将电子束汇聚于一个理想的点,达到冷场发射电镜的分辨率水平.
热场发射电镜主要的一个缺点是灯丝（阴极）寿命较短,给定寿命2000小时,实际可用3年左右.而冷场发射阴极寿命相对较长,且更换费用较低.