抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用

来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/24 21:34:07
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抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用

抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用
海德与您分享平面研磨抛光时,抛光垫的作用：
\x09　　①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
\x09　　②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;
\x09　　③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
\x09　　④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌.

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