抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/12/26 00:50:13

抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用海德与您分享平面研磨抛光时,抛光垫的作用：\x09　　①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫

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抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用

抛光垫在平面研磨机加工工件时有什么作用
海德与您分享平面研磨抛光时,抛光垫的作用：
\x09　　①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
\x09　　②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;
\x09　　③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
\x09　　④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌.

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