请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/23 06:52:51
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PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
等离子体辅助化学气相沉积
我们公司就是做这个的.
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