请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/23 06:52:51
请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?PECVD=PlasmaEnhancedCh

请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?
请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?

请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?
PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
等离子体辅助化学气相沉积
我们公司就是做这个的.