管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里?

管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里? 为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象 PCVD与PECVD区别是什么? PECVD是什么 PECVD 是什么 PECVD定义 请问薄膜太阳能电池用的镀膜（PECVD）设备是什么? PECVD镀膜机一般抽到多少真空度 PECVD中真空泵每管冷却水流量是什么意思 PECVD的原理 pecvd有哪几种设备? PECVD工作原理 太阳能 PECVD 中破空是什么意思 PECVD的一些报警 PECVD石墨框有几种规格 PECVD镀膜舟为什么要用石墨的而不用其他金属 PECVD:怎样做好一个成功的PECVD的工序长 PECVD的CMI是什么意思啊