PECVD工作原理
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/05 21:49:52
PECVD工作原理PECVD工作原理PECVD工作原理真空下,加上射频或微波电场,使反应室气体发生辉光放电产生大量电子,在电场作用下获得能量,与气体分子发生碰撞使气体分子活化吸附在衬底上,发生化学反应
PECVD工作原理
PECVD工作原理
PECVD工作原理
真空下,加上射频或微波电场,使反应室气体发生辉光放电产生大量电子,在电场作用下获得能量,与气体分子发生碰撞使气体分子活化吸附在衬底上,发生化学反应生成介质膜,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走!