PECVD 是什么
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2025/01/09 09:03:27
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PECVD( plasma enhanced chemical vapor deposition )等离子体增强化学气相沉积
它是电池片生产过程中的一道工序,(电池片的生产工序主要有1.清洗制绒 2.扩散 3.刻蚀.4.扩散后清洗 5.PECVD 6.丝网印刷 7.测试分选)PECVD主要是对电池片的正极面进行镀膜从而加大电池片对光的吸收强度 目前据我知道的它主要分为板式和管式两种工艺
PECVD--等离子体增强化学气相沉积法
为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).
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PCVD与PECVD区别是什么?
PECVD等离子化学气象沉积原理是什么?
请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?
PECVD定义
谁知道等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)英文全称是什么?
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