PECVD定义
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/22 09:39:42
PECVD定义PECVD定义PECVD定义PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜.为了使化学反
PECVD定义
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PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜.为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).
PECVD优点：基本温度低；沉积速率快；成膜质量好,针孔较少,不易龟裂.
PECVD缺点：
1.设备投资大、成本高,对气体的纯度要求高；
2.涂层过程中产生的剧烈噪音、强光辐射、有害气体、金属蒸汽粉尘等对人体有害；
3.对小孔孔径内表面难以涂层等.
常见的PECVD薄膜：
氮化硅、氧化硅、氮氧硅等
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