硅片的制备硅片制备的具体流程

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/18 17:36:39
硅片的制备硅片制备的具体流程硅片的制备硅片制备的具体流程硅片的制备硅片制备的具体流程单晶硅的制备先是拉单晶,硅单晶棒有直拉法(CZ法)和区熔法两种硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀

硅片的制备硅片制备的具体流程
硅片的制备
硅片制备的具体流程

硅片的制备硅片制备的具体流程
单晶硅的制备先是拉单晶,硅单晶棒有直拉法(CZ法)和区熔法两种
硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光,以及几何尺寸和表面质量检测等工序完成单晶硅片的生产