MOCVD是做什么用的,售价好像很高?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/26 10:09:02
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MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition)的英文缩写.MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术.它以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料.
目前应用最广的就是用MOCVD生长GaN和GaAs外延片(用来做蓝、绿、红、黄、黄绿灯颜色的LED,还有探测器),也可以做太阳能电池.目前主要的设备厂家有Aixtron和veeco ,国内也有自己做MOCVD的,但技术不成熟.