mocvd是什么
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/12/22 23:40:53
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MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition)的英文缩写.MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术.它以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料.通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行,衬底温度为500-1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区.
MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition) 的英文缩写。
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什么是MOCVD设备补贴
请问MOCVD的详细情况?
什么是MOCVD技术
MOCVD的发展历史
LED外延片生长需要用到哪些设备和原料、工艺流程是什么?目前我了解到的是MOCVD、尾气处理器、MO源,请补充
生产蓝宝石衬底的企业是否同时生产外延片?金属有机物气相外延(MOCVD)和泡生法分别是什么?有什么关联么?
mocvd设备是干什么用的?
MOCVD设备与LED有什么具体联系?
MOCVD是做什么用的,售价好像很高?
求翻译下面表格（MBE和MOCVD的对比）
利用MOCVD怎样制作DBR结构?举例说明怎样设计每层的厚度?
TCO光伏玻璃项目:用MOCVD在超白浮法玻璃上形成FTO膜,设备厂家?
金属有机化学气相沉积系统（MOCVD）与LED的关系?
氧化镓在LED制程上是应用在LPE制程还是MBE、MOCVD制程 .
低压MOCVD和常压MOCVD1.两者用途有什么不一样?各用于生长什么类型的材料?2.两者各有什么优势?