金属有机化学气相沉积系统（MOCVD）与LED的关系?

来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/12/27 06:32:58
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金属有机化学气相沉积系统（MOCVD）与LED的关系?
金属有机化学气相沉积（MOCVD）是一种合成方法,尤其适合于膜合成.
而发光二极管（LED）是一种半导体器件,本无关联；只是LED中广泛用到膜技术制造.
成膜技术很多,除了MOCVD外,还有低压CVD(LPCVD),等离子体增强CVD (PECVD),液相外延(LPE),溶胶凝胶(sol-gel),化学浴沉积(CBD)等等,种类繁多,可见LED器件并不是必须使用MOCVD法.

MOVCD装载的衬底的外延片是由LED生产商提供的

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