气相沉积 化学气相沉积中典型的化学反应有哪些?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/25 13:10:45
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气相沉积 化学气相沉积中典型的化学反应有哪些?
气相沉积
化学气相沉积中典型的化学反应有哪些?

气相沉积 化学气相沉积中典型的化学反应有哪些?
cvd
1.硅烷分解成硅和氢气 硅沉积
2.还原:四氯化硅和氢气成硅和氯化氢
3.氧化:硅烷加氧气成二氧化硅沉积和氢气
4.等等.

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