什么是化学气相沉积法?它对对原料,产物和反应类型的要求有哪些
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/24 16:27:03
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化学气相沉积法是指两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到晶片表面上.淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子,它是由硅烷和氮反应形成的.
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