化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜的反应原理化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜,其反应原理为什么?要化学方程式

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/11/24 16:53:58

化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜的反应原理化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜,其反应原理为什么?要化学方程式化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜的反应原理化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜,其反应原理

化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜的反应原理化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜,其反应原理为什么?要化学方程式
化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜的反应原理
化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜,其反应原理为什么?要化学方程式

化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜的反应原理化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜,其反应原理为什么?要化学方程式
这是机理性的东西,CVD 法是在高温条件下分解含有C元素的原料气体,生成碳原子,甲基原子团等活性粒子,并在合适的工艺条件下,在基底材料上沉积出金刚石膜的方法.对于CVD 金刚石膜的沉积机理,存在诸多模型,比较一致的描述为（CH4/H2系统）
H2=2H·
CH4=CH3·+H·
CH4+H·=CH3·+H2
由于CH3·具有金刚石结构,而其悬挂键又被大量的氢原子所饱和,因此金刚石膜表面就保持了稳定的sp3杂化结构,即金刚石的四面体结构.若其上沉积新的碳原子,就可能与其键合形成sp3杂化键,从而形成金刚石晶体,如此循环反复即可得到金刚石膜.
给你看个图吧,是CVD金刚石膜生长过称中sp3结构碳生成的具体过程：

化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜的反应原理化学气相沉积法由CH4制金刚石薄膜,其反应原理为什么?要化学方程式什么是化学气相沉积法?它对对原料,产物和反应类型的要求有哪些气相沉积化学气相沉积中典型的化学反应有哪些? 物理气相沉积法与化学气相沉积法有何区别气相沉积法的应用请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用?请问CVD（化学气相沉积）镀膜的原理及应用? 磁控溅射镀膜与等离子体化学气相沉积镀膜的区别?我就知道一个是物理气相沉积,一个是化学气相沉积,其他的都不是很了解,他们的具体原理上的区别? CVD（化学气相沉积）的原理及应用是什么解释一下化学气相沉积法制备纳米材料我想买一台恒温磁力搅拌器,专门做化学水浴沉积薄膜的, 有没有GS400-2型等离子体增强化学气相沉积设备?什么地方产的?价格是多少? 如果用化学气相沉积法在硅片上镀铝,请问最大厚度能够达到多少? 电化学法的分类电化学法制备薄膜时,电沉积和电泳沉积的区别?采用电化学法制备功能薄膜的分类在硬质合金上沉积类金刚石薄膜为什么要进行预处理?原理是什么以下不是物理气相沉积法(PVD)所用到的技术是? 谁知道等离子体辅助化学气相沉积（PECVD)英文全称是什么? 金刚石,石墨的化学结构一个金刚石（石墨）分子由几个原子构成电沉积法可否应用于绝缘体小弟做实验需要将材料“镀”到布料上,初步的思路希望能利用电沉积法在布料表面形成薄膜,求问电沉积法能否实现绝缘体的镀层,