干氧氧化和湿氧氧化的特点
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/16 18:35:39
干氧氧化和湿氧氧化的特点干氧氧化和湿氧氧化的特点干氧氧化和湿氧氧化的特点干氧的氧化膜结构致密、均匀性和重复性好、掩蔽能力强、钝化效果好、但生长速率慢.湿氧的氧化膜结构疏松,表面有缺陷,含水量多,对杂质
干氧氧化和湿氧氧化的特点
干氧氧化和湿氧氧化的特点
干氧氧化和湿氧氧化的特点
干氧的氧化膜结构致密、均匀性和重复性好、掩蔽能力强、钝化效果好、但生长速率慢.
湿氧的氧化膜结构疏松,表面有缺陷,含水量多,对杂质的掩蔽能力差,但生长速率快.
一般湿氧很少单独使用,因为它对硅表面影响较大,湿氧和光刻胶的接触也不好
一般稍微对厚度要求的氧化层两个表面采用干氧,也就是干氧－湿氧－干氧(简称干湿干)的过程
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