真空镀膜机的问题为什么机器一开始加电流后真空度会下降一点,随后又慢慢升回去了,等加热电流加大,蒸发舟发红温度升到一定程度后,真空度就会持续下降,真空室检测无漏气点,盖板和各水
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/26 20:12:21
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真空镀膜机的问题
为什么机器一开始加电流后真空度会下降一点,随后又慢慢升回去了,等加热电流加大,蒸发舟发红温度升到一定程度后,真空度就会持续下降,真空室检测无漏气点,盖板和各水循环管道无漏水处,为什么真空度再加热时会掉呢,而且是蒸发舟加热到某一程度才掉,蒸镀是一开盖板瞬间也会大幅度掉真空,随即缓慢回升,盖板也打压了,无漏水的地方,蒸发坩里不加蒸镀介质也同样掉真空,实在没招了,各位谁懂的话给解决下吧……
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加热会使吸附在机器内壁和蒸发舟、工件等位置的气体放出,所以真空度会变差.持续加热一段时间,吸附气体放完,真空度自然会变好.不了解你的盖板是什么东西,挡板?是不是有点脏?
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