真空镀膜机的结构原理
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/10/02 09:47:55
真空镀膜机的结构原理真空镀膜机的结构原理真空镀膜机的结构原理一、电控柜的操作1.开水泵、气源2.开总电源3.开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作.约需5分钟
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一、电控柜的操作 1.开水泵、气源 2.开总电源 3.开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作.约需5分钟.4.开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟.5.观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度.真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源.二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 1.总电源 2.同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮.3.开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动.三、关机顺序 1.关高真空表头、关分子泵.2.待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟.3.到50以下时,再关维持泵.
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