真空镀膜的结构谁知道真空镀膜机的结构,有没有离子蒸发式镀膜机的结构图呢,我最主要想知道组装的大致结构和各部分的部件位置,

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/23 10:26:28
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真空镀膜的结构
谁知道真空镀膜机的结构,
有没有离子蒸发式镀膜机的结构图呢,我最主要想知道组装的大致结构和各部分的部件位置,

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1.真空室
2.真空获得系统
3.真空检测系统
4.控制系统
5.冷却水系统
6.压缩空气系统
7.电源系统
8.工件转架系统
9.蒸发源系统
10.反应气体系统
11.配电系统
是做毕业设计么?有不明白的可以Hi我

镀膜机的组成及各部件:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统、镀膜监控系统及各自的工作原理,镀膜机按照其应用领域的不同可以分为电子枪热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机等,但是他们的结构都一样,以光学镀膜机为例,主要有三大部分组成:真空主体——真空腔,辅助排气系统(包括排气系统、真空测量系统)、蒸发系统(包括坩埚及回转控制系统、电子枪柜)、成膜控制系统。...

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镀膜机的组成及各部件:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统、镀膜监控系统及各自的工作原理,镀膜机按照其应用领域的不同可以分为电子枪热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机等,但是他们的结构都一样,以光学镀膜机为例,主要有三大部分组成:真空主体——真空腔,辅助排气系统(包括排气系统、真空测量系统)、蒸发系统(包括坩埚及回转控制系统、电子枪柜)、成膜控制系统。

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