请你帮个忙 请教下你真空镀膜机的结构原理?
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/12/26 22:59:16
请你帮个忙请教下你真空镀膜机的结构原理?请你帮个忙请教下你真空镀膜机的结构原理?请你帮个忙请教下你真空镀膜机的结构原理?你的问题太泛泛了,真空镀膜机一般包括几个部分：1.真空室2.抽气系统（各种泵）3
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你的问题太泛泛了,真空镀膜机一般包括几个部分：
1. 真空室
2. 抽气系统（各种泵）
3.真空测量系统（真空计）
4.镀膜系统（各种蒸发源及电源）
5.电器控制系统及软件控制系统
6.压缩空气和冷却水及工艺气体分配系统.
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