大面积玻璃磁控溅射镀膜技术的膜系怎么设计?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/07/07 11:13:23
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确实和小尺寸的玻璃镀膜膜系设计方法是一样的,但是,大面积玻璃磁控溅射必须确保溅射速率沿玻璃横向均匀分布.