扩散泵在真空镀机起什么作用
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/10/04 03:39:39
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扩散泵是一种高真空泵,可以将真空度由0.几Pa抽到10E-5Pa以上,而且抽速快,价格低,在对真空度有较高要求但对污染要求不太严格的环境下有很大市场.
主要作用就是保证真空室的高真空状态.
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