磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜 主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/08 09:06:23
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磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜 主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜
磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜
主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题
但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜

磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜 主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜
没有镀过Al,不知道辉光的准确颜色.但是是不是你气压设置或者基片温度有问题呢?磁控溅射控制参数就这么几个了.既然能起辉,至少电流值应该在可选范围内了