非晶硅用什么溶解ai-Si 、PECVD、硅膜、 常态,求清理

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/22 04:10:52
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可以采用混酸HNO3+HF来处理,反应原理如下:
4HNO3 + 18HF + 3Si = 3H2[SiF6] + 4NO + 8H2O