半导体硅片匀胶的作用是什么

来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2025/02/03 03:20:10
半导体硅片匀胶的作用是什么半导体硅片匀胶的作用是什么半导体硅片匀胶的作用是什么匀胶的作用主要是讲光刻胶涂平,利用高速旋转的离心力.匀胶的时候你可以看到滴到Wafer上的一滴液体（匀胶后会高温处理,蒸发

半导体硅片匀胶的作用是什么
半导体硅片匀胶的作用是什么

半导体硅片匀胶的作用是什么
匀胶的作用主要是讲光刻胶涂平,利用高速旋转的离心力.
匀胶的时候你可以看到滴到Wafer上的一滴液体（匀胶后会高温处理,蒸发掉其中水分,定型,说是固体,其实还是比较软的,后面plasma ETCH之前一般会有一步UVbake,进行加固）由中心向外侧扩散,一圈一圈的,直至完全变平.

在硅片表面均匀的涂上一层光刻胶，再进行曝光、显影，将光罩上的图形转移的光刻胶上，为后续的刻蚀、注入工艺服务。

保证硅片表面光刻胶的平整度，以免影响到光刻的精度和质量。

半导体硅片匀胶的作用是什么 半导体的作用是什么? 半导体的作用是什么?半导体的作用是什么? 硅片在集成电路中的作用是什么?硅片如何参与集成电路的工作? 硅片是什么做的呢? patterned 半导体硅片相关术语. 硅片是什么 硅片是什么 半导体的作用 半导体硅片与IC级硅片有什么区别? 半导体收音机是什么工作原理?关于半导体起什么作用，还有怎么接收信号方面的 半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么 半导体励磁调节器主要单元的作用是什么? 在半导体行业中,金属引线框架的作用是什么? 制造半导体的硅片,原材料是普通的沙子,还是什么? 硅片研磨机的特点与原理是什么? 什么是扩散片?想了解一下半导体硅片的一些知识 现在的半导体用硅片一般厚度是多少?我查阅过一些用作太阳能的硅片,听说现在那些硅片厚度在200~400微米,但是我们现在需要用的硅片厚度要求高点,听说半导体用的硅片厚度比太阳能的稍高,