半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/27 13:35:12
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1 因为切割过程中会产生热量,使用去离子水进行冷却;
2 切割中会产生一些粉尘和碎屑,切得过程中要一直使用水来冲洗刀片.
使用去离子水是防止水中的可移动离子,比如Na\Cl之类对Wafer造成污染,影响后续的工艺.
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