半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/26 03:51:48
半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么1因为切割过程中会产生热量,使用去离子水进行冷却;2切割中会产生一些粉尘和碎屑,切得过程中要

半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么
半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么

半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么
1 因为切割过程中会产生热量,使用去离子水进行冷却;
2 切割中会产生一些粉尘和碎屑,切得过程中要一直使用水来冲洗刀片.
使用去离子水是防止水中的可移动离子,比如Na\Cl之类对Wafer造成污染,影响后续的工艺.