有哪些半导电薄膜在半导体工艺中经常用到哪些半导电薄膜?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2025/02/02 20:11:50
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有哪些半导电薄膜
在半导体工艺中经常用到哪些半导电薄膜?
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是指半导体薄膜?还是半导电的薄膜?
半导电薄膜只有半绝缘多晶硅薄膜.
半导体薄膜主要有外延生长的Si单晶薄膜和CVD生长的掺杂多晶硅薄膜、半绝缘多晶硅薄膜.
绝缘体薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等.
金属薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜.
工艺中用到的薄膜技术光刻胶薄膜.
太笼统了,请说具体点了!
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