磁控溅射电流是辉光的电流吗?如果不是的话,那是指哪个电流啊?

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/12/24 08:42:14

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辉光放电时,电极之间有明显的放电辉光产生,典型的放电区域划分如图所示.从阴极至阳极的整个放电区域可以划分为阿斯顿暗区、阴极辉光区、克鲁克斯阴极暗区、负辉光区、法拉第暗区、正辉光区、阳极暗区和阳极辉光区八个发光强度不同的区域.

在阴极附近有一明亮的发光层,它是由向阴极运动的正离子与阳极发射出的二次电子发生复合所产生的,称为阴极辉光.阴极暗区是二次电子和离子的主要加速区,这个区域的电压降占了整个放电电压的绝大部分.因此可以近似认为,仅仅在阴极暗区所对应的阴极鞘层中才有电位梯度存在,其形成的电压降约等于靶电压.

靶电流和电源电流不一样,作为电源,需要有输入和输出,输入指的是电网给进的电量,输入电源的总能量,此时的电流是总能量与电网电压的算法；而输出指的是电源通过整流、改性后（或恒压、或恒流、或恒功率）输出的电流,此时的电流即为电源显示电流.输出的电量根据电源的性质不同,需要消耗不同的输入总电量.直流脉冲电源的转换率只有不到50%,中频电源可以达到90%以上,还有其他射频电源等,但是基本不用在磁控溅射上.

题中所说的,电源显示的电流、靶电流基本一致.磁控溅射电流不知道您说的是哪一块.有具体显示单位么?

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