等离子发生器的具体电路
来源：学生作业帮助网 编辑：六六作业网 时间：2024/11/25 23:55:36
等离子发生器的具体电路等离子发生器的具体电路等离子发生器的具体电路射频电源+匹配器+真空腔室,这一套下来怎么说也要几万吧,自己做电路太费时了射频电源需要一个直流开关电源,一个射频功率发生器或者射频信号
等离子发生器的具体电路
等离子发生器的具体电路
等离子发生器的具体电路
射频电源+匹配器+真空腔室,这一套下来怎么说也要几万吧,自己做电路太费时了
射频电源需要一个直流开关电源,一个射频功率发生器或者射频信号发生器和射频功率放大器
关键的部分是射频功率放大器,可以在百度上搜"乌龟 BA7KW",参考一下
匹配器根据腔室而定,大致上是两个可调电容,一个电感.这些元件的耐压要在几十KV,电流要达到几十A.
真空腔室需要精密加工,配合机械泵、分子泵抽成真空,充入稀薄惰性气体.射频信号通过平行板电容方式(CCP)或腔室外围的线圈(ICP)耦合至腔室,将里面的稀薄气体电离,从而产生等离子体.
如果,觉得这个太麻烦或者成本太高,给你几个简单的方法：
打火机一只,点燃,产生的火焰就是等离子体
日光灯一只,点亮,里面会产生等离子体
等离子发生器的具体电路
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