低温真空泵 价格?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/16 05:31:07
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低温真空泵
低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程,是集成电路专用设备中的关键设备之一;低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中.
低温真空泵指的是利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵
工作原理
低温真空泵适合应用于希望获得 10-1 Pa 至 10-9 Pa 真空度的场合,尤其适合应用于要求洁净无油和或快速抽气的场合:
低温真空泵的组成
低温真空泵由低温泵头、氦压缩机和金属软管三部分组成.详细咨询上海科兴仪器,电话shi 百度有啊0百度有啊2百度有啊1-百度有啊57百度有啊6百度有啊0百度有啊1百度有啊95百度有啊1百度有啊
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