四氟化碳在等离子体刻蚀中对人的危害有哪些?
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/10/06 17:57:26
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四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,发挥性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物.
结论,基本无害
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