真空镀膜的一些问题?PVD:物理气象沉积,离子溅射镀膜里的分子泵、规管都是干什么用的?

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/19 23:30:24
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真空镀膜的一些问题?
PVD:物理气象沉积,离子溅射镀膜里的分子泵、规管都是干什么用的?

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分子泵:是抽高真空用的
规管:电离规是测真空用的

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