直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊?如题.主要做的是金属靶材.在生产过程中,怎么监控靶材用量?随着靶材变薄,电压是不是会降低?靶材穿透会不会有打火现象啊!

来源：学生作业帮助网编辑：六六作业网时间：2024/12/24 13:50:21

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直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊?
如题.主要做的是金属靶材.在生产过程中,怎么监控靶材用量?随着靶材变薄,电压是不是会降低?靶材穿透会不会有打火现象啊!

直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊?如题.主要做的是金属靶材.在生产过程中,怎么监控靶材用量?随着靶材变薄,电压是不是会降低?靶材穿透会不会有打火现象啊!
1. 靶材穿透不等于电极穿透. 靶材一般都是固定在（相对）厚金属（例如 Cu）电极上.2. 由于电、磁、气、、等离子体、安装、靶材自身等因素的影响,靶材的消耗是不均匀的,基本成一个环“U”状.“U”谷深度也不尽相同,存在一个薄弱点（最先穿透）.3. 穿透时电压、电流变化：主要视（金属）靶材、基座的材料特性（原子序数、半径、电导率……）而有差异.4. 厚度监测：首先必须知道初始靶材厚度,监测分两种： a. 直接法：打开机台,拆下靶材测量,绘出剩余靶材厚度分布图, b. 间接法：最大溅射淀积速率 x 时间 x 工艺批(片) = 安全系数 x 初始厚度. 其中安全系数由 a给出,或保守取值. 查看原帖>>

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