直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?粘贴无效哈
来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/19 02:12:20
直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?粘贴无效哈直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用
直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?粘贴无效哈
直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下
还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?
粘贴无效哈
直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?粘贴无效哈
1 直流和射频是对加在靶上的电源所说的.本质区别自然就在直流是持续不间断加在上面,射频是具有一定的频率(13.56MHz)间隔加在靶上的.详细解释只能去看书,还不让粘贴,没人会找本书来给你慢慢敲在这里
2 这个说法不对.直流磁控溅射只能用导电的靶材(靶材表面在空气中或者溅射过程中不会形成绝缘层的靶材),并不局限于金属.譬如,对于铝靶,它的表面极易形成不导电的氧化膜层,造成靶表面电荷积累(靶中毒),严重时直流溅射无法进行.这时候,就需要射频电源,简单的说,用射频电源的时候,有一小部分时间是在冲抵靶上积累的电荷,不会发生靶中毒.
去找本书,《薄膜科学与技术》,里面解释的还行.或者半导体设备的书里面也会有涉及
直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别到底是什么啊
直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?粘贴无效哈
直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因
磁控溅射法有哪些种类?反应磁控溅射法是不是分为直流磁控溅射法和交流磁控溅射法还有射频磁控溅射 非平衡磁控溅射
磁控溅射镀膜与蒸发镀膜的区别
磁控溅射镀膜的应用
磁控溅射镀膜设备的工作原理?磁控溅射镀膜设备的真空度不够会有哪些影响?如何控制磁控溅射镀膜的厚度?此厚度与电流和电压的关系是什么?
磁控溅射中靶中毒是怎么回事,一般的影响因素是什么?
急.磁控溅射镀膜机的工作原理,有谁知道啊?
磁控溅射膜是最好的吗?
什么是反应磁控溅射的迟滞效应?
请行家告诉我:磁控溅射金属膜与金属量子膜的区别. 谢谢
磁控溅射电流是辉光的电流吗?如果不是的话,那是指哪个电流啊?
直流磁控溅射制备AlN薄膜 氮气流量多少为好啊,氮气和氩气的比例多少呢,还有镀膜气压多少呢?新买来的仪器,不清楚工艺条件,镀膜一个小时,几乎没有生长出薄膜,很着急,
谁知道真空蒸发镀膜和磁控溅射镀膜哪个更先进?主要是指 光学真空蒸发镀膜玻璃用电子枪的 和 真空磁控溅射镀膜 手机外壳 装饰膜 现在做玻璃的最先进的是什么镀膜类型 蒸发过时了吗
大面积玻璃磁控溅射镀膜技术的膜系怎么设计?
玻璃镀膜磁控溅射那家好呢?是可以合作的
磁控溅射镀锗膜、二氧化硅膜的工艺参数是多少?作为参考!