试述光刻加工的主要阶段

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/12/26 15:58:09
试述光刻加工的主要阶段试述光刻加工的主要阶段试述光刻加工的主要阶段涂胶,曝光,显影.涂胶又分HMDS,Coat,Softbake三步显影分PEB,Develop,Hardbake三步

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试述光刻加工的主要阶段
涂胶,曝光,显影.
涂胶又分HMDS,Coat,Softbake三步
显影分PEB,Develop,Hardbake三步