电子束蒸发制取二氧化铪(HfO2)的镀膜参数.如题,主要是这种材料的密度和Z-Factor.

来源:学生作业帮助网 编辑:六六作业网 时间:2024/11/21 18:43:07
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电子束蒸发制取二氧化铪(HfO2)的镀膜参数.
如题,主要是这种材料的密度和Z-Factor.

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密度 9.68
Z 1.0
这个说明书里都有